12月6日，由北京中科科儀股份有限公司承擔的國家重大科學儀器設備開發(fā)專項“場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡開發(fā)和應用”項目技術(shù)綜合驗收會在北京外國專家大廈召開，科技部專家組成員、項目牽頭單位、合作和應用單位代表參加了本次會議。

會上，驗收專家組現(xiàn)場聽取了中科科儀項目負責人張永明所做的完成情況匯報，觀看了項目視頻，聽取了異地測試情況匯報。與會專家組成員對項目完成情況給予高度評價，一致建議通過驗收。

中科科儀多年來一直致力于電子顯微鏡產(chǎn)品的研制開發(fā)與技術(shù)升級，1975年中科科儀研制成功的我國第一臺dx-3型掃描電子顯微鏡分辨率達到10nm；1985年與美國amary公司合作開發(fā)的kyky-1000b掃描電子顯微鏡分辨率達到6nm；直至今天kyky-em8100型場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡分辨率達到了1nm。

此次參與驗收的場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡是納米科技研究不可缺少的工具,為前沿科技研究提供重要支撐，提升高端科學儀器研制水平，促進精密制造業(yè)發(fā)展，滿足半導體技術(shù)、生命科學、環(huán)境保護等領(lǐng)域的迫切需求。該項目突破了高分辨電子光學成像系統(tǒng)設計、場發(fā)射槍工程化設計制造、電子束加速鏡筒設計制造等多項關(guān)鍵技術(shù)，成功開發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的肖特基場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡，分辨率指標分別達到和優(yōu)于3nm@1kv和1nm@30kv，達到國際一流水平，極大促進了我國電子光學儀器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，使我國掃描電鏡實現(xiàn)臺階式飛越，有效解決當前“卡脖子”問題，打破了國外產(chǎn)品壟斷局面，促進國家、民族工業(yè)發(fā)展。極大推動和提高我國前沿科學研究、重大工程和戰(zhàn)略型新興產(chǎn)業(yè)高端裝備的國產(chǎn)化和自主化水平。